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传统方案不同通道分别掩膜制备,滤⾊带宽越窄,镀膜层数越多,工艺越复杂,加⼯难度⾼,通道数決定恢复光谱波长数
超表面光谱计算方案具有一次光刻完成所有通道制备,算法恢复的波长数可超过通道数,光谱更准确
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